最近用管式炉给薄膜退火，同样的条件退火薄膜的阻值不一样，像镍铬薄膜退火400多度应该电阻下降反而上升了，退火完薄膜表面像被氧化了一样，请问各位大神，这是什么情况呢？管式炉有通氮气，氮气的排放一开始接的水杯，后来换了硅油和直接排放到大气中均出现这种情况，是不是应该换管子了

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