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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 管式炉氮气薄膜退火
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ws4231153

新虫 (小有名气)
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管式炉氮气薄膜退火
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最近用管式炉给薄膜退火，同样的条件退火薄膜的阻值不一样，像镍铬薄膜退火400多度应该电阻下降反而上升了，退火完薄膜表面像被氧化了一样，请问各位大神，这是什么情况呢？管式炉有通氮气，氮气的排放一开始接的水杯，后来换了硅油和直接排放到大气中均出现这种情况，是不是应该换管子了

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1楼 2020-11-11 20:17:22
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郑大王志顺

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
接水杯会出现阻值上升吗

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4楼2020-11-15 22:09:57
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encryption2楼
2020-11-11 20:17   回复  
ws4231153(金币+2): 谢谢参与
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ro113楼
2020-11-11 20:17   回复  
ws4231153(金币+3): 谢谢参与
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