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ws4231153

新虫 (小有名气)


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管式炉氮气薄膜退火
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最近用管式炉给薄膜退火,同样的条件退火薄膜的阻值不一样,像镍铬薄膜退火400多度应该电阻下降反而上升了,退火完薄膜表面像被氧化了一样,请问各位大神,这是什么情况呢?管式炉有通氮气,氮气的排放一开始接的水杯,后来换了硅油和直接排放到大气中均出现这种情况,是不是应该换管子了

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郑大王志顺

新虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
接水杯会出现阻值上升吗

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4楼2020-11-15 22:09:57
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简单回复
2020-11-11 20:17   回复  
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ro113楼
2020-11-11 20:17   回复  
ws4231153(金币+3): 谢谢参与
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