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关于PUA漏字板的制备

作者 彩虹之约123
来源: 小木虫 150 3 举报帖子
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PUA漏字板中,先用厚SU8 负胶图案化硅片,再光刻,再刻蚀硅片,制备带有凹槽的硅,以带有硅为模板制备带有凸起的PDMS,然后制备PUA漏字板。厚SU8负胶甩多厚?硅刻蚀多深?图案化硅片的尺寸多大? 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • babyoflion

    这个要看你的要求啦,可以交流下

  • 彩虹之约123

    引用回帖:
    2楼: Originally posted by babyoflion at 2020-10-20 19:59:58
    这个要看你的要求啦,可以交流下

    谢谢回复。你做过吗

  • babyoflion

    对,做到硅基或者PDMS都可以

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