PUA漏字板中,先用厚SU8 负胶图案化硅片,再光刻,再刻蚀硅片,制备带有凹槽的硅,以带有硅为模板制备带有凸起的PDMS,然后制备PUA漏字板。厚SU8负胶甩多厚?硅刻蚀多深?图案化硅片的尺寸多大? 返回小木虫查看更多
这个要看你的要求啦,可以交流下
对,做到硅基或者PDMS都可以
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谢谢回复。你做过吗
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对,做到硅基或者PDMS都可以