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关于PUA漏字板的制备
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| PUA漏字板中，先用厚SU8 负胶图案化硅片，再光刻，再刻蚀硅片，制备带有凹槽的硅，以带有硅为模板制备带有凸起的PDMS，然后制备PUA漏字板。厚SU8负胶甩多厚？硅刻蚀多深？图案化硅片的尺寸多大？ |
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