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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 关于PUA漏字板的制备
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彩虹之约123

新虫 (正式写手)

[求助] 关于PUA漏字板的制备

PUA漏字板中，先用厚SU8 负胶图案化硅片，再光刻，再刻蚀硅片，制备带有凹槽的硅，以带有硅为模板制备带有凸起的PDMS，然后制备PUA漏字板。厚SU8负胶甩多厚？硅刻蚀多深？图案化硅片的尺寸多大？
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1楼 2020-10-20 18:57:56
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彩虹之约123

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2020-10-20 19:59:58
这个要看你的要求啦，可以交流下

谢谢回复。你做过吗？
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3楼2020-10-26 16:20:16
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babyoflion

金虫 (著名写手)
这个要看你的要求啦，可以交流下
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2楼2020-10-20 19:59:58
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babyoflion

金虫 (著名写手)
对，做到硅基或者PDMS都可以

发自小木虫Android客户端
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4楼2020-10-26 17:55:08
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