硅片刻蚀倒金字塔
想在硅片上刻蚀倒金字塔微结构，要用硅片还是表面带一层氧化硅的？如果有参数就更好了 谢谢~
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嗯
一般用LPCVD沉积氮化硅的硅片，氮化硅厚度100nm以上一般都没有问题。可以找研材微纳买，一般都有现货。
硅片的晶向是100的，阻值选中等的，比如1~10Ωcm。最好选好一点儿的衬底，晶向相对更准确的，
sio做掩膜，
·
是不是做的硅V槽啊