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硅片刻蚀倒金字塔

作者 khj1205: 来源: 小木虫 1200 24 举报帖子

想在硅片上刻蚀倒金字塔微结构，要用硅片还是表面带一层氧化硅的？如果有参数就更好了谢谢~ 返回小木虫查看更多

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