厚度80um，那你做的线宽多少？

10μm左右

10u还叫厚嘛

做不了，基本上曝不开

估计你用的是SU8。如果是SU8的话，首先胶的选择很重要。建议使用研材微纳的683，其它的SU8，包括进口microchem的，各个系列都有一些限制。
首先你这种接近10:1高宽比的，microchem的2000系列，但是它的粘附性很差。3000系列又最大只能做到5:1。
还有很多其它的工艺细节，比如，光源必须是单色的，显影要用特殊的工具，衬底要做如何的特殊处理等等等等，才又可能做到10:1的高宽比。
建议直接发信给研材微纳的技术邮箱或者销售邮箱进行咨询，或者直接参加他们的SU8光刻培训，