应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 微米和纳米 » yswyx » 如何制备厚度大均匀性好的光刻胶胶厚
71/1返回列表
查看: 1172  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者su1227将赠送您 10 个金币

su1227

新虫 (小有名气)

[求助] 如何制备厚度大均匀性好的光刻胶胶厚 已有1人参与

想获得80μm以上的光刻胶厚度，需要注意哪些问题，目前做的总是出现掉胶，显影不净等问题

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2020-09-23 19:03:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

当你当年

新虫 (正式写手)
厚度80um，那你做的线宽多少？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2020-09-23 19:28:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

su1227

新虫 (小有名气)
10μm左右

发自小木虫Android客户端
回复此楼
3楼2020-09-23 20:05:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)
10u还叫厚嘛

发自小木虫Android客户端
回复此楼
4楼2020-09-23 22:06:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

su1227

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by babyoflion at 2020-09-23 22:06:50
10u还叫厚嘛

你好，是80μm的膜厚，10μm的线宽

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2020-09-23 23:22:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
做不了，基本上曝不开

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
6楼2020-09-23 23:53:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

估计你用的是SU8。如果是SU8的话，首先胶的选择很重要。建议使用研材微纳的683，其它的SU8，包括进口microchem的，各个系列都有一些限制。
首先你这种接近10:1高宽比的，microchem的2000系列，但是它的粘附性很差。3000系列又最大只能做到5:1。
还有很多其它的工艺细节，比如，光源必须是单色的，显影要用特殊的工具，衬底要做如何的特殊处理等等等等，才又可能做到10:1的高宽比。
建议直接发信给研材微纳的技术邮箱或者销售邮箱进行咨询，或者直接参加他们的SU8光刻培训。
赞一下 回复此楼
7楼2020-09-30 16:34:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 su1227 的主题更新
71/1返回列表
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭