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su1227

新虫 (小有名气)

[求助] 如何制备厚度大均匀性好的光刻胶胶厚 已有1人参与

想获得80μm以上的光刻胶厚度,需要注意哪些问题,目前做的总是出现掉胶,显影不净等问题

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su1227

新虫 (小有名气)

3楼2020-09-23 20:05:34
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查看全部 7 个回答

当你当年

新虫 (正式写手)

厚度80um,那你做的线宽多少?

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2楼2020-09-23 19:28:36
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babyoflion

金虫 (著名写手)

4楼2020-09-23 22:06:50
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su1227

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by babyoflion at 2020-09-23 22:06:50
10u还叫厚嘛

你好,是80μm的膜厚,10μm的线宽

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5楼2020-09-23 23:22:01
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