不是相关专业的,现在设计微结构,请问可以做连续两层的光刻吗?如示意图所示。 图片1.png 返回小木虫查看更多
你的示意图所示搞不起来,因为光是直线传播的。
有可能能实现,但是需要考虑上面层普通薄膜层的怎么做?比如镀膜的方式,有可能就很难实现,还得考虑上层胶额烘胶问题,因为底下有胶层,上层胶不容易干透的问题
你的厚度没写啊你这里最核心的就是厚度和材料问题
你的示意图所示搞不起来,因为光是直线传播的。
您好,不是同时光刻,是一层一层的光刻呢?先光刻最下面那层,然后涂上一层普通薄膜,再光刻上面那层呢
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一层一层的,那这样的话是可以的。
有可能能实现,但是需要考虑上面层普通薄膜层的怎么做?比如镀膜的方式,有可能就很难实现,还得考虑上层胶额烘胶问题,因为底下有胶层,上层胶不容易干透的问题
你的厚度没写啊你这里最核心的就是厚度和材料问题