当前位置: 首页 > 微米纳米 >光刻工艺,可以进行连续两层光刻吗?

光刻工艺,可以进行连续两层光刻吗?

作者 wmzt
来源: 小木虫 250 5 举报帖子
+关注

不是相关专业的,现在设计微结构,请问可以做连续两层的光刻吗?如示意图所示。

光刻工艺,可以进行连续两层光刻吗?
图片1.png 返回小木虫查看更多

今日热帖
  • 精华评论
  • 13813921817

    你的示意图所示搞不起来,因为光是直线传播的。

  • wmzt

    引用回帖:
    2楼: Originally posted by 13813921817 at 2020-08-26 20:54:45
    你的示意图所示搞不起来,因为光是直线传播的。

    您好,不是同时光刻,是一层一层的光刻呢?先光刻最下面那层,然后涂上一层普通薄膜,再光刻上面那层呢

  • 13813921817

    引用回帖:
    3楼: Originally posted by wmzt at 2020-08-27 08:08:08
    您好,不是同时光刻,是一层一层的光刻呢?先光刻最下面那层,然后涂上一层普通薄膜,再光刻上面那层呢?...

    一层一层的,那这样的话是可以的。

  • hitsz_li

    有可能能实现,但是需要考虑上面层普通薄膜层的怎么做?比如镀膜的方式,有可能就很难实现,还得考虑上层胶额烘胶问题,因为底下有胶层,上层胶不容易干透的问题

  • babyoflion

    你的厚度没写啊你这里最核心的就是厚度和材料问题

猜你喜欢