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光刻工艺,可以进行连续两层光刻吗?
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wmzt
新虫
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光刻工艺,可以进行连续两层光刻吗?
已有2人参与
不是相关专业的,现在设计微结构,请问可以做连续两层的光刻吗?如示意图所示。
图片1.png
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1楼
2020-08-26 20:24:24
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你的示意图所示搞不起来,因为光是直线传播的。
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2楼
2020-08-26 20:54:45
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wmzt
新虫
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专业: 传热传质学
引用回帖:
2楼
:
Originally posted by
13813921817
at 2020-08-26 20:54:45
你的示意图所示搞不起来,因为光是直线传播的。
您好,不是同时光刻,是一层一层的光刻呢?先光刻最下面那层,然后涂上一层普通薄膜,再光刻上面那层呢?
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3楼
2020-08-27 08:08:08
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wmzt: 金币+40,
★★★
很有帮助
2020-09-01 07:50:28
引用回帖:
3楼
:
Originally posted by
wmzt
at 2020-08-27 08:08:08
您好,不是同时光刻,是一层一层的光刻呢?先光刻最下面那层,然后涂上一层普通薄膜,再光刻上面那层呢?...
一层一层的,那这样的话是可以的。
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4楼
2020-08-27 10:03:44
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hitsz_li
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【答案】应助回帖
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有可能能实现,但是需要考虑上面层普通薄膜层的怎么做?比如镀膜的方式,有可能就很难实现,还得考虑上层胶额烘胶问题,因为底下有胶层,上层胶不容易干透的问题
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5楼
2020-08-27 15:00:09
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babyoflion
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专业: 光学
你的厚度没写啊你这里最核心的就是厚度和材料问题
发自小木虫Android客户端
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6楼
2020-08-28 12:19:40
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