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wmzt

新虫 (正式写手)

[求助] 光刻工艺,可以进行连续两层光刻吗? 已有2人参与

不是相关专业的,现在设计微结构,请问可以做连续两层的光刻吗?如示意图所示。

光刻工艺,可以进行连续两层光刻吗?
图片1.png
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水,利万物而不争


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你的示意图所示搞不起来,因为光是直线传播的。
2楼2020-08-26 20:54:45
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wmzt

新虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 13813921817 at 2020-08-26 20:54:45
你的示意图所示搞不起来,因为光是直线传播的。

您好,不是同时光刻,是一层一层的光刻呢?先光刻最下面那层,然后涂上一层普通薄膜,再光刻上面那层呢?
3楼2020-08-27 08:08:08
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水,利万物而不争


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
wmzt: 金币+40, ★★★很有帮助 2020-09-01 07:50:28
引用回帖:
3楼: Originally posted by wmzt at 2020-08-27 08:08:08
您好,不是同时光刻,是一层一层的光刻呢?先光刻最下面那层,然后涂上一层普通薄膜,再光刻上面那层呢?...

一层一层的,那这样的话是可以的。
4楼2020-08-27 10:03:44
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hitsz_li

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
有可能能实现,但是需要考虑上面层普通薄膜层的怎么做?比如镀膜的方式,有可能就很难实现,还得考虑上层胶额烘胶问题,因为底下有胶层,上层胶不容易干透的问题
5楼2020-08-27 15:00:09
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babyoflion

金虫 (著名写手)

你的厚度没写啊你这里最核心的就是厚度和材料问题

发自小木虫Android客户端
6楼2020-08-28 12:19:40
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