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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻工艺，可以进行连续两层光刻吗？
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wmzt

新虫 (正式写手)

[求助] 光刻工艺，可以进行连续两层光刻吗？ 已有2人参与

不是相关专业的，现在设计微结构，请问可以做连续两层的光刻吗？如示意图所示。

光刻工艺，可以进行连续两层光刻吗？
图片1.png
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1楼 2020-08-26 20:24:24
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
wmzt: 金币+40, ★★★很有帮助 2020-09-01 07:50:28
引用回帖:
3楼: Originally posted by wmzt at 2020-08-27 08:08:08
您好，不是同时光刻，是一层一层的光刻呢？先光刻最下面那层，然后涂上一层普通薄膜，再光刻上面那层呢？...

一层一层的，那这样的话是可以的。
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4楼2020-08-27 10:03:44
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你的示意图所示搞不起来，因为光是直线传播的。
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2楼2020-08-26 20:54:45
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wmzt

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 13813921817 at 2020-08-26 20:54:45
你的示意图所示搞不起来，因为光是直线传播的。

您好，不是同时光刻，是一层一层的光刻呢？先光刻最下面那层，然后涂上一层普通薄膜，再光刻上面那层呢？
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3楼2020-08-27 08:08:08
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hitsz_li

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
有可能能实现，但是需要考虑上面层普通薄膜层的怎么做？比如镀膜的方式，有可能就很难实现，还得考虑上层胶额烘胶问题，因为底下有胶层，上层胶不容易干透的问题
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5楼2020-08-27 15:00:09
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