对界面能谱进行定量/半定量分析,点扫、线扫、面扫是怎么选择的?如果成分相差在5%以内,是不是选择线扫比较好一点? 定量分析,对SEM EDS进行操作有什么注意事项?线扫和面扫,是看稳定,线扫结果不再有大的变化吗 返回小木虫查看更多
5%的定量精度看元素,不同的都不一样,而且要看表样校准,随便拿一个仪器基本都很难达到这个水平,定量准度线扫mapping不会有啥区别,个人倾向mapping,至少有没有drift会很清楚,线扫样品飘到哪去都不清楚,总之就是eds定量不是很靠谱的,除非富集很明显,否则不要用这个给出定量结论,很不靠谱的
5%的定量精度看元素,不同的都不一样,而且要看表样校准,随便拿一个仪器基本都很难达到这个水平,定量准度线扫mapping不会有啥区别,个人倾向mapping,至少有没有drift会很清楚,线扫样品飘到哪去都不清楚,总之就是eds定量不是很靠谱的,除非富集很明显,否则不要用这个给出定量结论,很不靠谱的
mapping的结果,趋势不是那么明显,线扫还看得出一点。一般对于元素含量低于1 wt.%(比如C),是不是可以忽略不作考虑,只考虑主元素吗,元素含量多的?
如果是EDS换成EPMA,这样的话,定量可以不可以说?
一般是不是还是定性为主,定量的话,要看有明显的区别,甚至于还是一个半定量化结果
mapping趋势都不明显,那说明根本没啥可见的区别,线扫的变化很有可能只是假象,1wt%以下可以认为不存在了,不过问题在于你确定这个1%靠谱么,你具体要分析啥元素,C这种轻元素EDS根本不可靠,你说有或者没有都很难,EPMA定量性强很多,不过问题在于也要有表样校准的,可能一两周一个月就要做一次,现在很少有仪器维护到这个程度的,不校准还是不靠谱的,另外就是校准用的标准物质和你材料的差异要越小越好,否则也不准,这个其实很难做到,所以大部分也只是理论上比较准,实际能不能定量还是难说
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