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球面做碳化硅的CVD

作者 kunlunwater
来源: 小木虫 400 8 举报帖子
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球面的无压烧结碳化硅,抛光后发现表面有气孔。需要再做一次CVD之后重新抛光,看看气孔可以减少多少。
请问哪位可以帮助?

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