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可以加工这样的微针模板吗?

作者 彩虹之约123
来源: 小木虫 200 4 举报帖子
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通过微针作为模板,在PDMS上形成微金字塔结构,金字塔(高几百纳米)之间间距100纳米以内,可以加工这样的微针模板吗? 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • babyoflion

    有没有示意图?微针顶部的要求呢?PDMS做几百纳米的分辨率已经有些不足了吧?

  • 罗罗罗旭

    PDMS做1um已经很吃力了…

  • hitsz_li

    模板加工应该难度不高,但是得看对外形状的要求,如果要求完美的锥形,那难度挺大的,另外,如其他人回复所言,PDMS倒模,200nm确实几乎是极限了。

  • 彩虹之约123

    引用回帖:
    4楼: Originally posted by hitsz_li at 2020-08-20 10:03:20
    模板加工应该难度不高,但是得看对外形状的要求,如果要求完美的锥形,那难度挺大的,另外,如其他人回复所言,PDMS倒模,200nm确实几乎是极限了。

    可否发一下加工方面的资料

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