通过微针作为模板,在PDMS上形成微金字塔结构,金字塔(高几百纳米)之间间距100纳米以内,可以加工这样的微针模板吗? 返回小木虫查看更多
有没有示意图?微针顶部的要求呢?PDMS做几百纳米的分辨率已经有些不足了吧?
PDMS做1um已经很吃力了…
模板加工应该难度不高,但是得看对外形状的要求,如果要求完美的锥形,那难度挺大的,另外,如其他人回复所言,PDMS倒模,200nm确实几乎是极限了。
有没有示意图?微针顶部的要求呢?PDMS做几百纳米的分辨率已经有些不足了吧?
PDMS做1um已经很吃力了…
模板加工应该难度不高,但是得看对外形状的要求,如果要求完美的锥形,那难度挺大的,另外,如其他人回复所言,PDMS倒模,200nm确实几乎是极限了。
可否发一下加工方面的资料
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