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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 可以加工这样的微针模板吗？
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彩虹之约123

新虫 (正式写手)

[求助] 可以加工这样的微针模板吗？

通过微针作为模板，在PDMS上形成微金字塔结构，金字塔（高几百纳米）之间间距100纳米以内，可以加工这样的微针模板吗？
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1楼 2020-08-19 19:18:37
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babyoflion

金虫 (著名写手)
有没有示意图？微针顶部的要求呢？PDMS做几百纳米的分辨率已经有些不足了吧？

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2楼2020-08-19 19:58:04
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罗罗罗旭

新虫 (小有名气)
PDMS做1um已经很吃力了…

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3楼2020-08-20 08:16:40
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hitsz_li

铁虫 (初入文坛)
模板加工应该难度不高，但是得看对外形状的要求，如果要求完美的锥形，那难度挺大的，另外，如其他人回复所言，PDMS倒模，200nm确实几乎是极限了。
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4楼2020-08-20 10:03:20
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彩虹之约123

新虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by hitsz_li at 2020-08-20 10:03:20
模板加工应该难度不高，但是得看对外形状的要求，如果要求完美的锥形，那难度挺大的，另外，如其他人回复所言，PDMS倒模，200nm确实几乎是极限了。

可否发一下加工方面的资料？
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5楼2020-08-23 20:29:40
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