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彩虹之约123

新虫 (正式写手)

[求助] 可以加工这样的微针模板吗?

通过微针作为模板,在PDMS上形成微金字塔结构,金字塔(高几百纳米)之间间距100纳米以内,可以加工这样的微针模板吗?
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babyoflion

金虫 (著名写手)

有没有示意图?微针顶部的要求呢?PDMS做几百纳米的分辨率已经有些不足了吧?

发自小木虫Android客户端
2楼2020-08-19 19:58:04
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罗罗罗旭

新虫 (小有名气)

PDMS做1um已经很吃力了…

发自小木虫IOS客户端
3楼2020-08-20 08:16:40
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hitsz_li

铁虫 (初入文坛)

模板加工应该难度不高,但是得看对外形状的要求,如果要求完美的锥形,那难度挺大的,另外,如其他人回复所言,PDMS倒模,200nm确实几乎是极限了。
4楼2020-08-20 10:03:20
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彩虹之约123

新虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by hitsz_li at 2020-08-20 10:03:20
模板加工应该难度不高,但是得看对外形状的要求,如果要求完美的锥形,那难度挺大的,另外,如其他人回复所言,PDMS倒模,200nm确实几乎是极限了。

可否发一下加工方面的资料?
5楼2020-08-23 20:29:40
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