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磁控溅射不能启辉

作者 999号菜鸟
来源: 小木虫 500 10 举报帖子
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在1pa的溅射气氛下,用直流电源120瓦溅射钒,不能启辉,显示的电压一直在跳动,只有两三毫安的电流,不能启辉,有没有懂磁控的大佬,指点一下,给个解决问题的方向。

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