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光刻后图形很脏,不知道为什么

作者 kunmeigo
来源: 小木虫 200 4 举报帖子
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emmm机械剥离之后经过光刻显影,就成了这个情况,但是剥离之后挺干净的,空基底光刻也没问题。

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  • 精华评论
  • zzlnudt

    可能是被污染了,用丙酮清洗一下?

  • yswyx

    衬底什么材料的?石墨烯?其它二维材料?问题描述的不清楚,也没有显微镜的图片…………
    你这种显影不干净,表面花,飘胶,啥都有可能。用什么光刻胶,什么设备,衬底材料,工艺目的,啥都不说,没办法分析,

  • aspen18

    我做光刻胶和清洗剂的

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