emmm机械剥离之后经过光刻显影,就成了这个情况,但是剥离之后挺干净的,空基底光刻也没问题。 返回小木虫查看更多
可能是被污染了,用丙酮清洗一下?
衬底什么材料的?石墨烯?其它二维材料?问题描述的不清楚,也没有显微镜的图片………… 你这种显影不干净,表面花,飘胶,啥都有可能。用什么光刻胶,什么设备,衬底材料,工艺目的,啥都不说,没办法分析,
我做光刻胶和清洗剂的
可能是被污染了,用丙酮清洗一下?
衬底什么材料的?石墨烯?其它二维材料?问题描述的不清楚,也没有显微镜的图片…………
你这种显影不干净,表面花,飘胶,啥都有可能。用什么光刻胶,什么设备,衬底材料,工艺目的,啥都不说,没办法分析,
我做光刻胶和清洗剂的