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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 微米和纳米 » yswyx » 光刻后图形很脏，不知道为什么
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kunmeigo

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻后图形很脏，不知道为什么 已有2人参与

emmm机械剥离之后经过光刻显影，就成了这个情况，但是剥离之后挺干净的，空基底光刻也没问题。

光刻后图形很脏，不知道为什么


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1楼 2020-07-04 19:10:53
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luan2265

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
2楼2020-07-04 19:13:35
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zzlnudt

新虫 (著名写手)
可能是被污染了，用丙酮清洗一下？

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MEMS Gyro
3楼2020-07-04 21:21:51
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
衬底什么材料的？石墨烯？其它二维材料？问题描述的不清楚，也没有显微镜的图片…………
你这种显影不干净，表面花，飘胶，啥都有可能。用什么光刻胶，什么设备，衬底材料，工艺目的，啥都不说，没办法分析。
赞一下 回复此楼
4楼2020-07-07 12:50:39
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aspen18

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我做光刻胶和清洗剂的
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5楼2020-07-10 20:00:47
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