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kunmeigo

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻后图形很脏,不知道为什么 已有2人参与

emmm机械剥离之后经过光刻显影,就成了这个情况,但是剥离之后挺干净的,空基底光刻也没问题。

光刻后图形很脏,不知道为什么


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aspen18

银虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

我做光刻胶和清洗剂的
5楼2020-07-10 20:00:47
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luan2265

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

2楼2020-07-04 19:13:35
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zzlnudt

新虫 (著名写手)

可能是被污染了,用丙酮清洗一下?

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MEMS Gyro
3楼2020-07-04 21:21:51
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
衬底什么材料的?石墨烯?其它二维材料?问题描述的不清楚,也没有显微镜的图片…………
你这种显影不干净,表面花,飘胶,啥都有可能。用什么光刻胶,什么设备,衬底材料,工艺目的,啥都不说,没办法分析。
4楼2020-07-07 12:50:39
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