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纳米硅薄膜刻蚀

作者 wubaolin1995
来源: 小木虫 200 4 举报帖子
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我们通过化学气相沉积的方法得到了100-1000nm的硅薄膜,然后我想通过刻蚀的方法把表面加工成不同的3D结构,不知道国内有没有合适的公司机构可以加工,最好也可以制作模板。不知有没有哪位大神了解,烦请告知一下,谢谢了

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  • yswyx

    淌吹姆椒ㄗ�3D结构?多层刻蚀还是要做悬空膜结构?
    可以联系研材微纳,掩模版也是他们做,

  • yuan129647

    我们这里能做的,已经私信楼主

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