我们通过化学气相沉积的方法得到了100-1000nm的硅薄膜,然后我想通过刻蚀的方法把表面加工成不同的3D结构,不知道国内有没有合适的公司机构可以加工,最好也可以制作模板。不知有没有哪位大神了解,烦请告知一下,谢谢了 返回小木虫查看更多
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淌吹姆椒ㄗ�3D结构?多层刻蚀还是要做悬空膜结构? 可以联系研材微纳,掩模版也是他们做,
我们这里能做的,已经私信楼主
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