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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 微米和纳米 » yswyx » 纳米硅薄膜刻蚀
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【悬赏金币】回答本帖问题，作者wubaolin1995将赠送您 10 个金币

wubaolin1995

新虫 (初入文坛)

[求助] 纳米硅薄膜刻蚀 已有1人参与

我们通过化学气相沉积的方法得到了100-1000nm的硅薄膜，然后我想通过刻蚀的方法把表面加工成不同的3D结构，不知道国内有没有合适的公司机构可以加工，最好也可以制作模板。不知有没有哪位大神了解，烦请告知一下，谢谢了

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1楼 2020-07-02 03:44:01
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匿名

用户注销 (初入文坛)
本帖仅楼主可见
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2楼2020-07-02 08:41:40
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
刻蚀的方法做3D结构？多层刻蚀还是要做悬空膜结构？
可以联系研材微纳，掩模版也是他们做。
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3楼2020-07-02 11:58:23
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yuan129647

无虫 (小有名气)
我们这里能做的，已经私信楼主
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4楼2020-07-03 09:27:30
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bayou20308

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
5楼2020-07-03 09:34:09
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