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wubaolin1995

新虫 (初入文坛)

[求助] 纳米硅薄膜刻蚀 已有1人参与

我们通过化学气相沉积的方法得到了100-1000nm的硅薄膜,然后我想通过刻蚀的方法把表面加工成不同的3D结构,不知道国内有没有合适的公司机构可以加工,最好也可以制作模板。不知有没有哪位大神了解,烦请告知一下,谢谢了

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yuan129647

无虫 (小有名气)


我们这里能做的,已经私信楼主
4楼2020-07-03 09:27:30
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匿名

用户注销 (初入文坛)


本帖仅楼主可见
2楼2020-07-02 08:41:40
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
刻蚀的方法做3D结构?多层刻蚀还是要做悬空膜结构?
可以联系研材微纳,掩模版也是他们做。
3楼2020-07-02 11:58:23
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bayou20308

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

5楼2020-07-03 09:34:09
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