我平时主要用ald沉积氧化物，比如氧化铝、氧化铪、氧化锆、氧化钛、氮化钛；以上氧化物在平面上沉积的薄膜各方面质量都非常好。最近在给一家公司做技术服务的时候，发现生长的柱体样品的时候会有轻微色差，请问是什么原因，谢谢。

补充氮化钛的速率交流一下

[ Last edited by xiaohouzidz on 2023-11-4 at 09:13 ] 返回小木虫查看更多