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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 原子层沉积（ALD）
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xiaohouzidz

捐助贵宾 (正式写手)

[交流] 原子层沉积（ALD）

我平时主要用ald沉积氧化物，比如氧化铝、氧化铪、氧化锆、氧化钛、氮化钛；以上氧化物在平面上沉积的薄膜各方面质量都非常好。最近在给一家公司做技术服务的时候，发现生长的柱体样品的时候会有轻微色差，请问是什么原因，谢谢。

补充氮化钛的速率交流一下

[ Last edited by xiaohouzidz on 2023-11-4 at 09:13 ]
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1楼 2020-06-10 17:00:15
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14558276

木虫 (正式写手)
★
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
真空漏气

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2楼2020-06-10 17:06:14
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xiaohouzidz

捐助贵宾 (正式写手)
引用回帖:
2脗楼: Originally posted by 14558276 at 2020-06-10 17:06:14
脮忙驴脮脗漏脝酶

脝陆脙忙脩霉脝路戮脥脙禄脢脗
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3楼2020-06-10 17:44:58
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terry_lei

新虫 (初入文坛)
★
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
膜厚差异

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16楼2020-06-28 15:05:12
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yajia13

新虫 (正式写手)
★
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
柱状会不会是涡流造成了膜厚差

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17楼2020-06-29 00:03:56
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果树南昌

木虫 (职业作家)
★
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
16楼: Originally posted by terry_lei at 2020-06-28 15:05:12
膜厚差异

一氧化铪，二氧化铪，颜色不一样，氧和铪非化学计量配比
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19楼2020-08-01 09:42:34
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匿名

用户注销 (正式写手)
★
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
本帖仅楼主可见
20楼2020-12-03 11:47:00
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hbabc4楼
2020-06-10 17:58   回复  
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
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tzynew5楼
2020-06-10 18:49   回复  
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syhorchid6楼
2020-06-10 19:15   回复  
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zhaokuiman7楼
2020-06-11 14:37   回复  
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miaojiabing8楼
2020-06-11 15:31   回复  
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slytjiaofei9楼
2020-06-11 16:12   回复  
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downdrifting10楼
2020-06-11 16:35   回复  
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danghaha11楼
2020-06-11 16:42   回复  
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我 发自小木虫IOS客户端
nono200912楼
2020-06-11 18:23   回复  
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·
psylhh13楼
2020-06-11 22:26   回复  
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尚辑SCI14楼
2020-06-12 09:12   回复  
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o看i15楼
2020-06-13 04:17   回复  
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
好 发自小木虫IOS客户端
kaypu18楼
2020-07-04 08:49   回复  
引用回帖:
17楼: Originally posted by yajia13 at 2020-06-29 00:03:56 柱状会不会是涡流造成了膜厚差

shehuifei21楼
2020-12-03 23:51   回复  
Haibo_22楼
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howtoge23楼
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icanspll24楼
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