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[交流]
原子层沉积(ALD)
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我平时主要用ald沉积氧化物,比如氧化铝、氧化铪、氧化锆、氧化钛、氮化钛;以上氧化物在平面上沉积的薄膜各方面质量都非常好。最近在给一家公司做技术服务的时候,发现生长的柱体样品的时候会有轻微色差,请问是什么原因,谢谢。 补充氮化钛的速率交流一下 [ Last edited by xiaohouzidz on 2023-11-4 at 09:13 ] |
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3楼2020-06-10 17:44:58
2楼2020-06-10 17:06:14
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hbabc4楼
2020-06-10 17:58
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2020-06-11 14:37
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xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
嗯 发自小木虫Android客户端
downdrifting10楼
2020-06-11 16:35
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danghaha11楼
2020-06-11 16:42
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xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
我 发自小木虫IOS客户端










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