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xiaohouzidz

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[交流] 原子层沉积(ALD)

我平时主要用ald沉积氧化物,比如氧化铝、氧化铪、氧化锆、氧化钛、氮化钛;以上氧化物在平面上沉积的薄膜各方面质量都非常好。最近在给一家公司做技术服务的时候,发现生长的柱体样品的时候会有轻微色差,请问是什么原因,谢谢。

补充氮化钛的速率交流一下

[ Last edited by xiaohouzidz on 2023-11-4 at 09:13 ]
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果树南昌

木虫 (职业作家)



xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
16楼: Originally posted by terry_lei at 2020-06-28 15:05:12
膜厚差异

一氧化铪,二氧化铪,颜色不一样,氧和铪非化学计量配比
19楼2020-08-01 09:42:34
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14558276

木虫 (正式写手)



xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
2楼2020-06-10 17:06:14
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xiaohouzidz

捐助贵宾 (正式写手)


引用回帖:
2脗楼: Originally posted by 14558276 at 2020-06-10 17:06:14
脮忙驴脮脗漏脝酶

脝陆脙忙脩霉脝路戮脥脙禄脢脗
3楼2020-06-10 17:44:58
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hbabc4楼
2020-06-10 17:58   回复  
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
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2020-06-11 14:37   回复  
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
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2020-06-11 16:35   回复  
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
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danghaha11楼
2020-06-11 16:42   回复  
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