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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 原子层沉积（ALD）
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xiaohouzidz

捐助贵宾 (正式写手)

[交流] 原子层沉积（ALD）

我平时主要用ald沉积氧化物，比如氧化铝、氧化铪、氧化锆、氧化钛、氮化钛；以上氧化物在平面上沉积的薄膜各方面质量都非常好。最近在给一家公司做技术服务的时候，发现生长的柱体样品的时候会有轻微色差，请问是什么原因，谢谢。

补充氮化钛的速率交流一下

[ Last edited by xiaohouzidz on 2023-11-4 at 09:13 ]
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1楼 2020-06-10 17:00:15
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yajia13

新虫 (正式写手)
★
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
柱状会不会是涡流造成了膜厚差

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17楼2020-06-29 00:03:56
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14558276

木虫 (正式写手)
★
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
真空漏气

发自小木虫Android客户端
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2楼2020-06-10 17:06:14
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xiaohouzidz

捐助贵宾 (正式写手)
引用回帖:
2脗楼: Originally posted by 14558276 at 2020-06-10 17:06:14
脮忙驴脮脗漏脝酶

脝陆脙忙脩霉脝路戮脥脙禄脢脗
赞一下 回复此楼
3楼2020-06-10 17:44:58
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hbabc4楼
2020-06-10 17:58   回复  
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
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zhaokuiman7楼
2020-06-11 14:37   回复  
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
嗯 发自小木虫Android客户端
downdrifting10楼
2020-06-11 16:35   回复  
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
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danghaha11楼
2020-06-11 16:42   回复  
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
我 发自小木虫IOS客户端
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