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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 原子层沉积（ALD）
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xiaohouzidz

捐助贵宾 (正式写手)

[交流] 原子层沉积（ALD）

我平时主要用ald沉积氧化物，比如氧化铝、氧化铪、氧化锆、氧化钛、氮化钛；以上氧化物在平面上沉积的薄膜各方面质量都非常好。最近在给一家公司做技术服务的时候，发现生长的柱体样品的时候会有轻微色差，请问是什么原因，谢谢。

补充氮化钛的速率交流一下

[ Last edited by xiaohouzidz on 2023-11-4 at 09:13 ]
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1楼2020-06-10 17:00:15
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terry_lei

新虫 (初入文坛)
★
xiaohouzidz(金币+1): 谢谢参与
膜厚差异

发自小木虫Android客户端
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16楼2020-06-28 15:05:12
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