由于玻璃中含有少量能溶于水的组分，因此进行二次或多次蒸馏时，要使用石英蒸馏器皿，才能得到很纯的水，所得纯水应保存在石英或银制容器内。更高的要求，可能还要三蒸水、四蒸水......。多次蒸馏可以提高水的电阻率，比如自来水电阻率为1900欧姆，一次蒸馏水的电阻率为0.35兆欧，二次为1.0兆欧，三次为1.5兆欧，28次为16兆欧，根据实验用水的不同要求可以选择不同的多次蒸馏水。

最纯的去离子水的电阻率约为18.2兆欧.厘米，因为再纯的水自己也会电离出氢离子和氢氧根离子，所以最纯的水也有一定的电阻率上限。