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磁控溅射用的分子泵报警

作者 学员xYcu5L: 来源: 小木虫 700 14 举报帖子

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在抽真空时，分子泵能正常工作。可是到了关闭分子泵时，控制分子泵的模块示数从400开始下降，下降到30左右时，机器就会报警！！！并显示OLI，谁知道这是什么情况啊？？？这段时间一直这样。。。。。。。。。。。返回小木虫查看更多

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精华评论

睡睡谁谁

引用回帖:
8楼: Originally posted by qfw_68 at 2015-10-22 13:09:14
看楼主的描述应该是反抽的可能性大。
反应室和分子泵之间的闸板阀应该在停分子泵时提前关闭，分子泵后面的机械泵应继续工作直至分子泵停转为止。

我们的也是这么操作的，难道是气密性不好？。？
qfw_68

引用回帖:
9楼: Originally posted by 睡睡谁谁 at 2015-10-22 13:32:02
我们的也是这么操作的，难道是气密性不好？。？...

有可能。
睡睡谁谁

引用回帖:
10脗楼: Originally posted by qfw_68 at 2015-10-22 13:38:12
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qfw_68

引用回帖:
11脗楼: Originally posted by 脣炉脣炉脣颅脣颅 at 2015-10-22 13:59:46
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睡睡谁谁

引用回帖:
10脗楼: Originally posted by qfw_68 at 2015-10-22 13:38:12
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引用回帖:
13脗楼: Originally posted by 脣炉脣炉脣颅脣颅 at 2015-10-26 12:09:42
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睡睡谁谁

引用回帖:
14脗楼: Originally posted by qfw_68 at 2015-10-26 12:32:43
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