磁控溅射用的分子泵报警
在抽真空时，分子泵能正常工作。 可是到了关闭分子泵时，控制分子泵的模块示数从400开始下降，下降到30左右时，机器就会报警！！！并显示OLI，谁知道这是什么情况啊？？？这段时间一直这样。。。。。。。。。。。
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自己顶一下吧
应该翻看改分子泵的说明书。
参考：
检查输出线是否有短路现象；检查前级真空度是否过低。
第18/28页
https://www.docin.com/p-793944571.html
怎么检查前级真空度是否过低
，
通过真空计看反应室的真空度。前级真空度过低会造成反应室反抽分子泵。
看楼主的描述应该是反抽的可能性大。
反应室和分子泵之间的闸板阀应该在停分子泵时提前关闭，分子泵后面的机械泵应继续工作直至分子泵停转为止。