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请问视频磁控溅射等离子体单个离子的能量大约在什么范围?

作者 690069175
来源: 小木虫 50 1 举报帖子
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比如国产磁控溅射台,100W射频功率,压强0.5pa,Ar等离子的能量是多少ev? 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • Friend007

    和电压有关系 一般认为是电压的一半如500V,Ar平均能量约为250eV

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