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690069175金虫 (正式写手)
头儿
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[求助]
请问视频磁控溅射等离子体单个离子的能量大约在什么范围？
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| 比如国产磁控溅射台，100W射频功率，压强0.5pa，Ar等离子的能量是多少ev? |
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【答案】应助回帖
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690069175: 金币+20, 博学EPI+1 2015-09-19 10:48:42
690069175: 金币+20, 博学EPI+1 2015-09-19 10:48:42
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和电压有关系 一般认为是电压的一半如500V，Ar平均能量约为250eV 发自小木虫Android客户端 |
2楼2015-09-18 07:17:21