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690069175

金虫 (正式写手)

头儿

[求助] 请问视频磁控溅射等离子体单个离子的能量大约在什么范围？

比如国产磁控溅射台，100W射频功率，压强0.5pa，Ar等离子的能量是多少ev?
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镀金
1楼 2015-09-17 21:12:09
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
690069175: 金币+20, 博学EPI+1 2015-09-19 10:48:42
和电压有关系 一般认为是电压的一半如500V，Ar平均能量约为250eV

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2楼2015-09-18 07:17:21
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