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面扫描元素分布要用什么?

作者 赵婕
来源: 小木虫 200 4 举报帖子
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想做纳米棒表面Sn的元素分布,由于尺寸在纳米级别,用EELS或者XRF可以做出来吗?可以做mapping图吗? 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • gxytju2008

    nm级别很难,透射有可能能做,看仪器能力了也是,EELS,EDS可以试试,xrf基本没戏,很难聚焦成像,实在不行就用XPS加离子枪层层刻蚀试试

  • 赵婕

    引用回帖:
    2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-10-04 20:01:18
    nm级别很难,透射有可能能做,看仪器能力了也是,EELS,EDS可以试试,xrf基本没戏,很难聚焦成像,实在不行就用XPS加离子枪层层刻蚀试试

    谢谢!EELS好少地方能做,EDS说分辨率不够,SIMS可以做这么小的吗

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