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赵婕

木虫 (小有名气)

[求助] 面扫描元素分布要用什么？

想做纳米棒表面Sn的元素分布，由于尺寸在纳米级别，用EELS或者XRF可以做出来吗?可以做mapping图吗？
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1楼 2014-10-04 18:44:01
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

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★ ★ ★ ★ ★
赵婕: 金币+5, 博学EPI+1 2014-10-06 10:41:00
nm级别很难，透射有可能能做，看仪器能力了也是，EELS，EDS可以试试，xrf基本没戏，很难聚焦成像，实在不行就用XPS加离子枪层层刻蚀试试
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2楼2014-10-04 20:01:18
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赵婕

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-10-04 20:01:18
nm级别很难，透射有可能能做，看仪器能力了也是，EELS，EDS可以试试，xrf基本没戏，很难聚焦成像，实在不行就用XPS加离子枪层层刻蚀试试

谢谢！EELS好少地方能做，EDS说分辨率不够，SIMS可以做这么小的吗？
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3楼2014-10-06 10:41:55
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
赵婕: 金币+5 2014-10-06 18:46:06
引用回帖:
3楼: Originally posted by 赵婕 at 2014-10-06 10:41:55
谢谢！EELS好少地方能做，EDS说分辨率不够，SIMS可以做这么小的吗？...

Sims层层刻蚀可以，和xps一样的，直接测不太行的

[ 发自手机版 https://muchong.com/3g ]
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4楼2014-10-06 11:52:40
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赵婕

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-10-06 11:52:40
Sims层层刻蚀可以，和xps一样的，直接测不太行的
...

非常感谢～

[ 发自小木虫客户端 ]
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5楼2014-10-06 18:45:57
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