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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 测试表征 » 测试试样深度方向元素分布
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vancyamy

银虫 (小有名气)

[求助] 测试试样深度方向元素分布 已有9人参与

RT 求问 要想测试 试样深度方向元素分布 一般可以用什么仪器呢（选择越多越好）？？ 谢谢  求指导~~~~
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1楼 2014-01-18 04:19:07
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

lisijun

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
先用聚焦离子束（FIB）在扫描电镜中制作纵向的横截面样品，然后用SEM或者TEM的EDX功能就能得到其元素分布
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7楼2014-01-19 19:17:51
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普通回帖

jxlwj073

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个应该没有吧，深度的元素信号激发不到，激发出来了信号也出不来啊。如果有你所说的可以做深度方向的元素分布测试，那就可以做三维的元素分布了。
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2楼2014-01-18 10:46:02
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li1cai2fu3

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
试样深度方向元素分布 一般可以用SIMS（二次离子质谱）和三维原子探针
这两种测试方法都是可以将样品一层一层的剥掉，然后测量气元素的分布和含量
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3楼2014-01-18 13:35:17
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
制作横截面试样，在SEM视场下沿深度方向做EDS谱，可定性分析试样深度方向元素分布。
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4楼2014-01-19 00:15:42
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人族首领

版主 (知名作家)

人族首领

优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
前段时间组里分享过以前文献使用了刻蚀XPS的方法…比普通的XPS多了一步纵向刻蚀的过程可以参考一下

[ 发自小木虫客户端 ]
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5楼2014-01-19 00:37:42
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diaoyuniao

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用GD-OES，中文名不知道叫什么，在日本用过，我网上看到国内也有。采集的过程中，表面会被溅射掉，所以采集深度和时间成正比，但是不同的材料在深度上的采集速率不同，需要自己统计计算。
GD-OES是定量和定性分析材料在厚度上的元素成分的很好的方法，制样简单，基本上不需要怎么制样，分析斑点尺寸在毫米级。
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心有多大，你的世界就有多大
6楼2014-01-19 10:55:47
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lwb870525

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
二次离子质谱就是测这个的，可以测包括H在内的所有元素，但是要求该元素在基体中的含量不能太多，也比较贵。
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人一旦过于认真，结果往往注定是悲剧；玩世不恭，有时候或许是喜剧，最多也就是部闹剧。喜剧皆大欢喜，闹剧一笑而过，悲剧却是一生的痛，赢得了社会，却输了自己
8楼2014-01-19 20:26:28
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

若粗略定性的分析话，可以先制作个横截面为表面的试样，标出试样的深度方向后，在SEM的EDS能谱上进行深度方向的元素成份的点分析即可。
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9楼2014-02-18 20:47:16
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vancyamy

银虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by lwb870525 at 2014-01-19 20:26:28
二次离子质谱就是测这个的，可以测包括H在内的所有元素，但是要求该元素在基体中的含量不能太多，也比较贵。

请问 二次离子质谱 可以测 含量非常小的元素的分布么？ 谢谢
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10楼2014-02-19 03:17:32
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