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永远爱家的YY

金虫 (小有名气)

[求助] 如何采用俄歇电子进行成分深度分析?是否会破坏试样?对试样有什么特别的要求吗?

我的试样是被氧化了的涂层试样,想知道氧化层的成分分布。我看到有的文献中采用的是俄歇电子进行测试的。采用俄歇电子进行测试的时候,电子是从涂层的表面往下打,还是像做EDS线扫描一样,需要先制备涂层的截面试样呢?
   还需要对试样进行什么特别的处理吗?这样的测试会不会对试样造成破坏?
   另外,我看文献中,用俄歇电子测量的成分深度分析时,涂层都是纳米级别的。而且刻蚀的时间很长,都要一两百分钟的。现在我要看的涂层氧化层的厚度是10微米左右,会不会超过俄歇电子的测试范围呀?
    求高人指点~~~~小妹不胜感激!
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没有人能随随便便成功
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阶级二代

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
zhyq8767(金币+1): 感谢应助,欢迎积极参与本版的应助达人评比活动! 2012-03-06 18:40:14
永远爱家的YY(金币+1): 有帮助 谢谢您! 2012-03-07 08:47:43
试样表面的氧化和污染会影响俄歇电子谱的分析,况且俄歇电子只对轻元素敏感,不知道你这个氧化层是不是对最终的俄歇电子谱产生影响。现在材料检测分析主要基本集中在电镜,用俄歇电子谱仪的比较少吧。
尽人力听天命
2楼2012-03-06 18:30:00
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josiahimr

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
zhyq8767(金币+1): 感谢应助,欢迎积极参与本版的应助达人评比活动! 2012-03-06 20:34:27
永远爱家的YY(金币+1): ★★★很有帮助 谢谢您! 2012-03-07 08:49:01
俄歇电子谱可以做深度分析。是通过Ar离子溅射掉一层氧化物,然后再进行俄歇信号采集,溅射掉氧化物的厚度与溅射时间有关。由于俄歇本身的探测深度很浅,一般是再几个纳米深左右,所以可以这样逐层分析。但是氧化膜不能太厚(几十个到几百个纳米为宜,不宜再大),氧化膜太厚的话,需要溅射的时间和俄歇信号采集的次数越多,费用往往比较昂贵。
希望对你有帮助。
向着阳光生长……
3楼2012-03-06 20:25:38
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yemao00

铜虫 (小有名气)


youmengren(金币+1): 感谢交流 2012-03-07 19:58:54
俄歇应该不破坏样品的
王者归来
4楼2012-03-06 20:47:57
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永远爱家的YY

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 阶级二代 at 2012-03-06 18:30:00:
试样表面的氧化和污染会影响俄歇电子谱的分析,况且俄歇电子只对轻元素敏感,不知道你这个氧化层是不是对最终的俄歇电子谱产生影响。现在材料检测分析主要基本集中在电镜,用俄歇电子谱仪的比较少吧。

我试样的原来的涂层是TiCN, 氧化后变成了TiO2
没有人能随随便便成功
5楼2012-03-07 08:48:26
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永远爱家的YY

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by josiahimr at 2012-03-06 20:25:38:
俄歇电子谱可以做深度分析。是通过Ar离子溅射掉一层氧化物,然后再进行俄歇信号采集,溅射掉氧化物的厚度与溅射时间有关。由于俄歇本身的探测深度很浅,一般是再几个纳米深左右,所以可以这样逐层分析。但是氧化膜 ...

我试样原始厚度是4-6个微米,氧化后都有8-9个微米左右。这样看来,是不是不太适合做俄歇电子呀?
没有人能随随便便成功
6楼2012-03-07 08:50:39
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josiahimr

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
毛猴(金币+1): 感谢交流! 2012-03-11 12:54:28
永远爱家的YY(金币+1): 有帮助, 谢谢! 2012-03-12 08:43:48
引用回帖:
6楼: Originally posted by 永远爱家的YY at 2012-03-07 08:50:39:
我试样原始厚度是4-6个微米,氧化后都有8-9个微米左右。这样看来,是不是不太适合做俄歇电子呀?

我之前做过氧化层分析,约厚1微米,当时溅射到基体用了挺长时间.你这厚度确实有点大,你可以问问俄歇分析的老师,看看费用高不.
向着阳光生长……
7楼2012-03-09 13:43:36
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zhuzhuyaya

木虫 (小有名气)

科研屌丝

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
毛猴(金币+1): 感谢交流! 2012-03-11 12:54:33
同意楼上的说法,做刻蚀才能做深度检测,但收费是很高的。
8楼2012-03-11 12:53:24
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永远爱家的YY

金虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by josiahimr at 2012-03-09 13:43:36:
我之前做过氧化层分析,约厚1微米,当时溅射到基体用了挺长时间.你这厚度确实有点大,你可以问问俄歇分析的老师,看看费用高不.

你的1微米 当时溅射了多久呢?
没有人能随随便便成功
9楼2012-03-12 08:44:55
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josiahimr

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


永远爱家的YY(金币+1): 有帮助, 谢谢! 2012-03-13 08:25:08
引用回帖:
9楼: Originally posted by 永远爱家的YY at 2012-03-12 08:44:55:
你的1微米 当时溅射了多久呢?

2900秒。其实溅射并不是很贵,主要是溅射掉一层后进行俄歇信号采集比较慢,花费时间比较多,而且采集次数越多,价格越贵。
向着阳光生长……
10楼2012-03-12 19:28:46
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