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zhuzhuyaya

木虫 (小有名气)

科研屌丝

【答案】应助回帖


毛猴(金币+1): 感谢交流! 2012-03-14 09:16:36
溅射的快慢还要看涂层材料,像碳膜就很慢。
11楼2012-03-14 09:00:05
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phxwxl

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你的试样明显太厚了,应该离子减薄以后再做,一般要求一微米以下,太厚了对离子枪有损害人家不愿意做。再有就是不会破坏样品,只是有一个区域被溅射掉了
12楼2012-04-02 09:56:00
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yaoshw

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by josiahimr at 2012-03-06 20:25:38
俄歇电子谱可以做深度分析。是通过Ar离子溅射掉一层氧化物,然后再进行俄歇信号采集,溅射掉氧化物的厚度与溅射时间有关。由于俄歇本身的探测深度很浅,一般是再几个纳米深左右,所以可以这样逐层分析。但是氧化膜不 ...

您好,请问哪里可以做俄歇电子。我也有个样品想测量氧化膜厚度,大概几十nm。
13楼2014-08-27 15:59:53
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