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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 测试表征 » 测试试样深度方向元素分布
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vancyamy

银虫 (小有名气)

[求助] 测试试样深度方向元素分布 已有9人参与

RT 求问 要想测试 试样深度方向元素分布 一般可以用什么仪器呢（选择越多越好）？？ 谢谢  求指导~~~~
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1楼 2014-01-18 04:19:07
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
制作横截面试样，在SEM视场下沿深度方向做EDS谱，可定性分析试样深度方向元素分布。
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4楼2014-01-19 00:15:42
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

若粗略定性的分析话，可以先制作个横截面为表面的试样，标出试样的深度方向后，在SEM的EDS能谱上进行深度方向的元素成份的点分析即可。
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9楼2014-02-18 20:47:16
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
11楼: Originally posted by vancyamy at 2014-02-19 03:17:42
请问 二次离子质谱 可以测 含量非常小的元素的分布么？ 谢谢...

用一次离子束轰击表面，将样品表面的原子溅射出来成为带电的离子，然后用磁分析器或四极滤质器所组成的质谱仪分析离子的荷/质比，便可知道表面的成份。这应该类似于EDS吧，只是一个用电子，一个用离子。但由于各种元素的二次离子差额值相差非常大，二次离子质谱作定量分析非常困难。
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12楼2014-02-19 07:57:48
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