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vancyamy

银虫 (小有名气)

[求助] 测试试样深度方向元素分布 已有9人参与

RT 求问 要想测试 试样深度方向元素分布 一般可以用什么仪器呢(选择越多越好)?? 谢谢  求指导~~~~
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lisijun

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
先用聚焦离子束(FIB)在扫描电镜中制作纵向的横截面样品,然后用SEM或者TEM的EDX功能就能得到其元素分布
7楼2014-01-19 19:17:51
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