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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 测试表征 » 测试试样深度方向元素分布
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vancyamy

银虫 (小有名气)

[求助] 测试试样深度方向元素分布 已有9人参与

RT 求问 要想测试 试样深度方向元素分布 一般可以用什么仪器呢（选择越多越好）？？ 谢谢  求指导~~~~
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1楼 2014-01-18 04:19:07
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
制作横截面试样，在SEM视场下沿深度方向做EDS谱，可定性分析试样深度方向元素分布。
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4楼2014-01-19 00:15:42
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jxlwj073

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个应该没有吧，深度的元素信号激发不到，激发出来了信号也出不来啊。如果有你所说的可以做深度方向的元素分布测试，那就可以做三维的元素分布了。
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2楼2014-01-18 10:46:02
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li1cai2fu3

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
试样深度方向元素分布 一般可以用SIMS（二次离子质谱）和三维原子探针
这两种测试方法都是可以将样品一层一层的剥掉，然后测量气元素的分布和含量
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3楼2014-01-18 13:35:17
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人族首领

版主 (知名作家)

人族首领

优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
前段时间组里分享过以前文献使用了刻蚀XPS的方法…比普通的XPS多了一步纵向刻蚀的过程可以参考一下

[ 发自小木虫客户端 ]
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5楼2014-01-19 00:37:42
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