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赵婕

木虫 (小有名气)

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[求助] 面扫描元素分布要用什么？

想做纳米棒表面Sn的元素分布，由于尺寸在纳米级别，用EELS或者XRF可以做出来吗?可以做mapping图吗？

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1楼 2014-10-04 18:44:01

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gxytju2008

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【答案】应助回帖

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赵婕: 金币+5, 博学EPI+1 2014-10-06 10:41:00

nm级别很难，透射有可能能做，看仪器能力了也是，EELS，EDS可以试试，xrf基本没戏，很难聚焦成像，实在不行就用XPS加离子枪层层刻蚀试试

2楼2014-10-04 20:01:18

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赵婕

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引用回帖:

2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-10-04 20:01:18
nm级别很难，透射有可能能做，看仪器能力了也是，EELS，EDS可以试试，xrf基本没戏，很难聚焦成像，实在不行就用XPS加离子枪层层刻蚀试试

谢谢！EELS好少地方能做，EDS说分辨率不够，SIMS可以做这么小的吗？

3楼2014-10-06 10:41:55

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gxytju2008

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【答案】应助回帖

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赵婕: 金币+5 2014-10-06 18:46:06

引用回帖:

3楼: Originally posted by 赵婕 at 2014-10-06 10:41:55
谢谢！EELS好少地方能做，EDS说分辨率不够，SIMS可以做这么小的吗？...

Sims层层刻蚀可以，和xps一样的，直接测不太行的

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4楼2014-10-06 11:52:40

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4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-10-06 11:52:40
Sims层层刻蚀可以，和xps一样的，直接测不太行的
...

非常感谢～

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5楼2014-10-06 18:45:57

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