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赵婕

木虫 (小有名气)

[求助] 面扫描元素分布要用什么?

想做纳米棒表面Sn的元素分布,由于尺寸在纳米级别,用EELS或者XRF可以做出来吗?可以做mapping图吗?

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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
赵婕: 金币+5, 博学EPI+1 2014-10-06 10:41:00
nm级别很难,透射有可能能做,看仪器能力了也是,EELS,EDS可以试试,xrf基本没戏,很难聚焦成像,实在不行就用XPS加离子枪层层刻蚀试试
2楼2014-10-04 20:01:18
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赵婕

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-10-04 20:01:18
nm级别很难,透射有可能能做,看仪器能力了也是,EELS,EDS可以试试,xrf基本没戏,很难聚焦成像,实在不行就用XPS加离子枪层层刻蚀试试

谢谢!EELS好少地方能做,EDS说分辨率不够,SIMS可以做这么小的吗?
3楼2014-10-06 10:41:55
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
赵婕: 金币+5 2014-10-06 18:46:06
引用回帖:
3楼: Originally posted by 赵婕 at 2014-10-06 10:41:55
谢谢!EELS好少地方能做,EDS说分辨率不够,SIMS可以做这么小的吗?...

Sims层层刻蚀可以,和xps一样的,直接测不太行的

[ 发自手机版 https://muchong.com/3g ]
4楼2014-10-06 11:52:40
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赵婕

木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-10-06 11:52:40
Sims层层刻蚀可以,和xps一样的,直接测不太行的
...

非常感谢~

[ 发自小木虫客户端 ]
5楼2014-10-06 18:45:57
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