RF磁控溅射台,镀膜时 常用Ar气体,别的气体可行吗,可不可以用氮气作为溅射气体? 返回小木虫查看更多
一般选择惰性的氩气为工作气体,氮气等为反应气体。 即使氮气与靶材不反应,但其放电也不如氩气容易,且氮原子质量低,溅射效应比较差,
一般选择惰性的氩气为工作气体,氮气等为反应气体。
即使氮气与靶材不反应,但其放电也不如氩气容易,且氮原子质量低,溅射效应比较差,