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磁控溅射用的溅射气体都有什么?

作者 690069175
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RF磁控溅射台,镀膜时 常用Ar气体,别的气体可行吗,可不可以用氮气作为溅射气体? 返回小木虫查看更多

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  • qfw_68

    一般选择惰性的氩气为工作气体,氮气等为反应气体。
    即使氮气与靶材不反应,但其放电也不如氩气容易,且氮原子质量低,溅射效应比较差,

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