楼主，帮你查了最新的硕士论文。
金属/介质膜系光电特性的研究   作者：李向阳  学位授予单位：西安工业大学  学位名称：硕士  学位年度：2012

可以参考下[ Last edited by wolfghost on 2013-6-9 at 15:50 ]

在利用Top-Down方式加工纳米电子器件和纳米光电子器件的研究中,纳米薄膜的制作和加工技术是一个关键环节.采用金属Ti-SOS结构的纳米器件,Ti膜的厚度和成膜质量成为影响基于AFM针尖诱导氧化加工Ti纳米氧化线/电路图形结构质量的重要因素.文中叙述了Ti膜的制备和检测方法,给出了纳米Ti膜的制备和在一定环境下对其进行氧化加工的结果.
作者：王战 刘庆纲 匡登峰 米文博 白海力 胡小唐
不知对你有用不，