磁控溅射反偏电压
机器平时工作很稳定，这几次靶材功率源加到40W以上，反偏电压指针会突然满偏（平时我们要求其处于最低位置），辉光放电消失。功率源没有问题，问题在于靶材，不知道各位大侠有没有遇见过类似的问题，求大侠指教。
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是不是靶材加压不均匀
修机器的时候发现靶材短路了，谢谢
，