SIMS对样品有什么要求？
有做过二次离子质谱的同学和老师们帮帮忙吧，我想测样品中杂质随深度的变化。不知道对样品的大小有什么要求？长宽高的尺寸的范围？恳请有了解的人帮忙解答下，非常感谢！
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楼主帮你查了，不同仪器有差别。
IMSWF允许分析的样品的最大尺寸为300mm×300m
参考文献链接：https://wenku.baidu.com/view/45695868011ca300a6c3905e.html
PS:你可以做成剖面后测试，